FS1012, FS2012 - czujniki przepływu MEMS

Dzięki zastosowaniu półprzewodnikowego sensora nie zawierają membran ani zagłębień mogących spowodować zatkanie się mechanizmu. Charakteryzują się dokładnością od 2% oraz zakresami pomiarowymi do 0...1,0 SLPM dla cieczy i do 0...10 SLPM dla gazów.

Są odporne na wibracje i szybkie zmiany ciśnienia. FS1012 to czujnik niekalibrowany o małym poborze mocy, zasilany napięciem z zakresu 3...5 V, zawierający wyjście miliwoltowe.

FS2012 to czujnik z wyjściem w pełni wykalibrowanym i wbudowanym przetwornikiem A/C, pracujący z napięciem zasilania 5 V_DC i zawierający dwa typy wyjść: cyfrowe I²C i analogowe 0...5 V.